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定速ドライスクリュー真空ポンプ
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定速ドライスクリュー真空ポンプ

Yuzhen の耐久性のある固定速度ドライスクリュー真空ポンプは、シンプルな構造と安定した動作を特徴としており、固定動作条件や連続生産の用途に適しています。これは、コスト効率が高く、メンテナンスの手間がかからない古典的な乾式真空ソリューションです。

安定した生産リズムと比較的一定の真空要件を持つお客様の場合、複雑な制御は必要ありません。 Yuzhen 固定速度ドライスクリュー真空ポンプは、安定性、耐久性、メンテナンスの容易さという主要な利点を備えており、多くの工場で長期的な選択肢となっています。

このシリーズのスクリューローターは精密加工されており、優れたシール性と安定したポンピングを継続します。成熟した信頼性の高い駆動方式を使用することで、直接始動してスムーズに動作し、不必要な制御の複雑さを軽減します。オイルフリー構造によりクリーンでメンテナンス頻度が大幅に軽減され、日常の使用が容易になります。

連続生産ライン、真空炉、コーティングプロセス、または従来の工業用真空用途のいずれであっても、この固定速度ドライスクリュー真空ポンプは安定した出力を提供し、企業が効率を確保しながら設備投資と長期メンテナンスコストを制御するのに役立ちます。

Yuzhen は、Hanbell の成熟したネジ製造技術と厳格な品質管理システムに依存しており、複数の国際認証に合格した製品を有しており、長期にわたって世界の産業市場に貢献してきました。 ISO-9001、米国のUL、欧州のCE、スイスのロイズマリングレードなどの国際認証も取得しています。


PSシリーズ ドライスクリュー真空ポンプ

主な特長

1. ガス経路を短くし、プロセスガスの汚染を軽減

他のタイプのドライ真空ポンプと比較して、HANBELL スクリュー真空ポンプは真空ポンプ内のガス経路が最も短く、プロセスガスの汚染を軽減できます。スクリューローターは粉体輸送機構として機能し、ポンプ内に汚れが多くても問題なく動作します。

2. 優れたロータープロファイルシール効果による優れたポンプ性能

特許取得済みのロータープロファイルにより、ローターに優れたシール効果を提供できるため、ローター間により大きなクリアランスが許容されます。許容クリアランスを大きくすることで、プロセス汚染によるポンプローターの磨耗やローター詰まりを軽減できます。

3. シンプルな構造なのでポンプの不意の停止が少なく、オーバーホールも容易です。

スクリュー式真空は一対のスクリューローターで構成され、ポンプチャンバーのさまざまな段階に隔離プレートが必要です。ローターと隔離プレートの間のプロセス汚染も回避できます。ハンベルドライポンプのオーバーホールは他のタイプのドライポンプに比べてはるかに簡単なので、修理時間も短く、コストも節約できます。

4.マイクロプロセッサコントローラーとリモートコントロールソフトウェアはポンプを異常な状況から保護します。

マイクロプロセッサ コントローラは、動作状態を監視するための多くのポンプ パラメータを提供します。操作パネルによりポンプの操作・監視が簡単に行えます。リモート制御ソフトウェアは、顧客がポンプの稼働状態をリモートで監視するのに役立ちます。


利点

1. 冷却には特殊クーラントを使用しており、冷却水によるシェルの腐食を防ぎます。

2.モバイル操作インターフェイスは操作に便利です。真空ポンプの実際の作動状態を表示し、中国語と英語の表示も可能で、お客様のニーズに応えます。

3. 軍用グレードの電源コネクタ、安全で便利。

4. 窒素ヒーターにより、真空ポンプが CVD や PECVD などの半導体プロセスにより適したものになります。

5. 真空ポンプの遠隔監視を可能にする制御信号および通信信号インターフェース。

Fixed Speed Dry Screw Vacuum Pump


PSシリーズ ドライスクリュー真空ポンプ

モデル ユニット PS80 PS160 PS180
排気速度(50HZ/60HZ) L/分 1300/1600 2150/2600 2500/3000
m3/時 80/96 140/156 150/180
CFM 48/57 82/92 88/105
UIタイミングプレッシャー トル ≤7.5*10⁻3
ミリバール ≤1*10-2
≤1
モーター 頻度 ヘルツ 50/60
電圧 V 220~440
馬力 4 6 6
KW 2.98 4.47 4.47
繋がり 入口 NW50
アウトラー NW40
冷却
流れ L/分 3~7
プレッシャー kg/cm2 2~4
温度 18~30
繋がり RC3/8”
N2 プレッシャー メガパスカル 0.15~0.2
希釈流量 L/分 0~60
シールの流れ L/分 0~20
繋がり スウェージロック 1/4”
寸法長さ*幅*高さ mm 814*380*663 895*405*678 920*425*650
重さ kg 280 300 320
ノイズ dB(A) ≤68 ≤70 ≤70
注1. 上記騒音値は水冷モータ搭載、ケーシングなしの場合の値です。 2. 上記モデルに遮音装置を取り付けると、騒音をさらに 3 ~ 4 デシベル低減できます。
インタフェース SEMIE73-0299
ポンプのリーク率 Mbar.1/秒 1*10-5
動作温度 5~40
湿気の操作 RH 90%未満


モデル ユニット PS602 PS902 PS1302 PS1802
排気速度(50HZ/60HZ) L/分 8300/10000 12500/15000 17500/21000 25000/33300
m3/時 500/600 750/900 1050/1260 1500/1800
CFM 294/353 441/530 618/742 883/1060
UIタイミングプレッシャー トル ≤7.5*10⁻⁴
ミリバール ≤1*10⁻³
≤0.1
モーター 頻度 ヘルツ 50/60
電圧 V 220~440
馬力 4+4 6+4 6+6 6+6
KW 2.98+2.98 4.47+2.98 4.47+4.47 4.47+4.47
繋がり 入口 IS0100(ボルト止め) IS0160(ボルト止め)
アウトラー NW40
冷却
流れ L/分 3~7
プレッシャー kg/cm2 2~4
温度 15~30
繋がり RC3/8”
N2 プレッシャー メガパスカル 0.15~0.2
希釈流量 L/分 0~60
シールの流れ L/分 0~20
繋がり スウェージロック 1/4”
寸法長さ*幅*高さ mm 814*380*865 895*380*915 920*430*957 920*430*1030
重さ kg 450 520 540 545
ノイズ dB(A) ≤70 ≤70 ≤70 ≤70
注1. 上記騒音値は水冷モータ搭載、ケーシングなしの場合の値です。 2. 上記モデルに遮音装置を取り付けると、騒音をさらに 3 ~ 4 デシベル低減できます。
インタフェース SEMIE73-0299
動作温度 5~40
湿気の操作 RH 90%未満


PS の物理的寸法

Fixed Speed Dry Screw Vacuum Pump


PDシリーズ ドライスクリュー真空ポンプ

特徴

ドライスクリュー真空ポンプは、水冷モーター (防爆) または空冷モーター (防爆) を使用でき、高圧での高い排気速度、低​​消費電力、低騒音です。


応用

TFT-LCD、タッチパネル

太陽

冶金システム

コーティング

プラズマプロセス

乾燥工程

バイオテクノロジー/医薬品

化学工業


PD パフォーマンスパラメータ

モデル ユニット PD120 PD200 PD300 PD500 PD650 PD800
排気速度(50HZ/60HZ) L/分 1667/2000 2830/3400 4167/5000 7000/8333 9030/10840 11011/13233
m3/時 100/120 167/200 250/300 420/500 540/650 680/800
CFM 59/71 98/117 147/176 248/295 371/382 393/471
UIタイミングプレッシャー トル ≤7.5*10-3
ミリバール ≤1*10-2
≤1
モーター 頻度 ヘルツ 50/60
電圧 V 220~380~440
馬力 4/5.3 6/7.5 8/10 15/20 25/30 25/30
KW 2.98/4 4.47/5.5 6.7/7.5 11/15 18.5/22 18.5/22
KW 1.6/2 2.2/3 3.6/4.2 6/7 10/13 11/14
繋がり 入口 NW50 NW50 ISO63 ISO80 ISO100 ISO100
アウトラー NW40 NW40 NW40 NW50 ISO63 ISO63
冷却
繋がり RC3/8” RC1/2”
プレッシャー kg/cm2 2.0~4.0
温度 3slm18℃~7slm28℃ 6slm18℃~15slm28℃
流れ L/分
N2 プレッシャー kg/cm2 0.15~0.2
希釈流量 L/分 プロセス別
シールの流れ L/分 10
繋がり スウェージロック 1/4”
寸法長さ*幅*高さ mm 814*380*663 920*430*674 1075*430*650 1346*538.4*886 1831*610*735 1831*610*735
重さ kg 280 345 390 550 1050 1050
ノイズ dB(A) 68 <70 <70 <75 <80 <80
動作温度 5~40℃
湿気の操作 RH 90%未満


PD パフォーマンス曲線

Fixed Speed Dry Screw Vacuum Pump


PDの物理的寸法

Fixed Speed Dry Screw Vacuum PumpFixed Speed Dry Screw Vacuum Pump


PRシリーズ ルーツポンプ

特徴

1. PR ポンプは、高品質のオイルフリーポンプ機構を備えています。

2. 優れたレーター形状のシール効果により、優れたポンプ性能を発揮します。

3. 比較的低圧で動作するため信頼性が高い

4. 静かで振動のない動作


応用分野

真空コーティング、真空オーブン、熱プロセス、製薬、化学、半導体、TFT/LCD/LED、太陽電池など。


PR パフォーマンスパラメータ

モデル ユニット PR600 PR900 PR1300 PR1800 PR3000 PR7000
排気速度(50HZ/60HZ) L/分 13000 20000 26000 33000 63000 140000
m3/時 800 1200 1600 2000 3800 8400
CFM 470 706 941 1176 2235 4947
UIタイミングプレッシャー トル ≤7.5*10⁴
ミリバール ≤1*10⁻³
≤0.1
モーター 頻度 ヘルツ 50/60
電圧 V 220~440
馬力 4 4 6 6 8/20 20
KW 2.98 2.98 4.47 4.47 6.7/15 15
アイドル時の消費電力 KW 1.7
繋がり 入口 IS0100 ISO160 ISO200 320ISO-K
アウトラー IS0063 ISO100 IS0160 160ISO-K
寸法長さ*幅*高さ
mm

721*322*233

778*360*250

848*360*272

778*360*272
1142*510*358 1490*669*490
重さ kg 160 210
220

225
570 880
ノイズ dB(A)
≤60

≤60

≤62

≤62

≤65

≤70
注1. 上記騒音値は水冷モータ搭載、ケーシングなしの場合の値です。 2. 上記モデルに遮音装置を取り付けると、騒音をさらに 3 ~ 4 デシベル低減できます。
ポンプのリーク率 Mbar.1/秒 1*10⁵
動作温度 ℃ 5~40
動作湿度 RH RH 90%未満


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