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耐食性ドライスクリュー真空ポンプ
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耐食性ドライスクリュー真空ポンプ

Yuzhen 耐腐食性ドライスクリュー真空ポンプは、腐食性ガスや複雑なプロセス向けに特別に設計されています。 耐久性と安定性のある内部構造とオイルフリー設計により汚染が軽減され、お客様の装置寿命の延長と長期的な運用コストの削減に役立ちます。

Yuzhen 耐食性ドライスクリュー真空ポンプは、酸性、腐食性、または特殊なプロセスガスを含む生産プロセスに最適です。ねじや内部構造を最適化し、実際の使用条件に合わせた特殊な耐食処理を施すことで、汚れがたまりにくく、酸性ガスによるポンプ本体の損傷も防ぎます。オイルフリー操作により抽出環境を清潔に保ち、下流プロセスの汚染を防ぎます。長時間の連続作業でも吸込性能は抜群に安定しており、時間が経っても吸込性能が低下しにくいです。

化学工学、製薬、バイオエンジニアリングなど、精度と安定性が求められる業界では、生産プロセス全体をより安定して制御しやすくすることができます。


オイルフリー運転

耐食ドライスクリュー真空ポンプは、オイルフリー、ドライ動作を実現した耐食ドライスクリュー真空ポンプです。これにより、従来のオイル潤滑システムでよく発生するオイル汚染の問題が回避されます。高い清浄度が要求される生産工程において、オイルフリー設計により洗浄作業が軽減され、手戻りの可能性が低くなり、製品品質の安定化につながります。


メンテナンスコストの削減

この耐食性ドライスクリュー真空ポンプシリーズは、構造がシンプルで耐食性に優れているため、日常使用におけるメンテナンスが少なくて済みます。

頻繁な部品交換の必要性やメンテナンスのためのダウンタイムを削減することで、企業は長期的な運用コストを削減し、機器の稼働率を向上させることができます。


PSシリーズ ドライスクリュー真空ポンプ

主な特長

1. ガス経路を短くし、プロセスガスの汚染を軽減

他のタイプのドライ真空ポンプと比較して、HANBELL スクリュー真空ポンプは真空ポンプ内のガス経路が最も短く、プロセスガスの汚染を軽減できます。スクリューローターは粉体輸送機構として機能し、ポンプ内に汚れが多くても問題なく動作します。

2. 優れたロータープロファイルシール効果による優れたポンプ性能

特許取得済みのロータープロファイルにより、ローターに優れたシール効果を提供できるため、ローター間により大きなクリアランスが許容されます。許容クリアランスを大きくすることで、プロセス汚染によるポンプローターの磨耗やローター詰まりを軽減できます。

3. シンプルな構造なのでポンプの不意の停止が少なく、オーバーホールも容易です。

スクリュー式真空は一対のスクリューローターで構成され、ポンプチャンバーのさまざまな段階に隔離プレートが必要です。ローターと隔離プレートの間のプロセス汚染も回避できます。ハンベルドライポンプのオーバーホールは他のタイプのドライポンプに比べてはるかに簡単なので、修理時間も短く、コストも節約できます。

4.マイクロプロセッサコントローラーとリモートコントロールソフトウェアはポンプを異常な状況から保護します。

マイクロプロセッサ コントローラは、動作状態を監視するための多くのポンプ パラメータを提供します。操作パネルによりポンプの操作・監視が簡単に行えます。リモート制御ソフトウェアは、顧客がポンプの稼働状態をリモートで監視するのに役立ちます。


利点

1. 冷却には特殊クーラントを使用しており、冷却水によるシェルの腐食を防ぎます。

2.モバイル操作インターフェイスは操作に便利です。真空ポンプの実際の作動状態を表示し、中国語と英語の表示も可能で、お客様のニーズに応えます。

3. 軍用グレードの電源コネクタ、安全で便利。

4. 窒素ヒーターにより、真空ポンプが CVD や PECVD などの半導体プロセスにより適したものになります。

5. 真空ポンプの遠隔監視を可能にする制御信号および通信信号インターフェース。

Corrosion Resistant Dry Screw Vacuum Pump


PSシリーズ ドライスクリュー真空ポンプ

モデル ユニット PS80 PS160 PS180
排気速度(50HZ/60HZ) L/分 1300/1600 2150/2600 2500/3000
m3/時 80/96 140/156 150/180
CFM 48/57 82/92 88/105
UIタイミングプレッシャー トル ≤7.5*10⁻3
ミリバール ≤1*10-2
≤1
モーター 頻度 ヘルツ 50/60
電圧 V 220~440
馬力 4 6 6
KW 2.98 4.47 4.47
繋がり 入口 NW50
アウトラー NW40
冷却
流れ L/分 3~7
プレッシャー kg/cm2 2~4
温度 18~30
繋がり RC3/8”
N2 プレッシャー メガパスカル 0.15~0.2
希釈流量 L/分 0~60
シールの流れ L/分 0~20
繋がり スウェージロック 1/4”
寸法長さ*幅*高さ mm 814*380*663 895*405*678 920*425*650
重さ kg 280 300 320
ノイズ dB(A) ≤68 ≤70 ≤70
注1. 上記騒音値は水冷モータ搭載、ケーシングなしの場合の値です。 2. 上記モデルに遮音装置を取り付けると、騒音をさらに 3 ~ 4 デシベル低減できます。
インタフェース SEMIE73-0299
ポンプのリーク率 Mbar.1/秒 1*10-5
動作温度 5~40
湿気の操作 RH 90%未満


モデル ユニット PS602 PS902 PS1302 PS1802
排気速度(50HZ/60HZ) L/分 8300/10000 12500/15000 17500/21000 25000/33300
m3/時 500/600 750/900 1050/1260 1500/1800
CFM 294/353 441/530 618/742 883/1060
UIタイミングプレッシャー トル ≤7.5*10⁻⁴
ミリバール ≤1*10⁻³
≤0.1
モーター 頻度 ヘルツ 50/60
電圧 V 220~440
馬力 4+4 6+4 6+6 6+6
KW 2.98+2.98 4.47+2.98 4.47+4.47 4.47+4.47
繋がり 入口 IS0100(ボルト止め) IS0160(ボルト止め)
アウトラー NW40
冷却
流れ L/分 3~7
プレッシャー kg/cm2 2~4
温度 15~30
繋がり RC3/8”
N2 プレッシャー メガパスカル 0.15~0.2
希釈流量 L/分 0~60
シールの流れ L/分 0~20
繋がり スウェージロック 1/4”
寸法長さ*幅*高さ mm 814*380*865 895*380*915 920*430*957 920*430*1030
重さ kg 450 520 540 545
ノイズ dB(A) ≤70 ≤70 ≤70 ≤70
注1. 上記騒音値は水冷モータ搭載、ケーシングなしの場合の値です。 2. 上記モデルに遮音装置を取り付けると、騒音をさらに 3 ~ 4 デシベル低減できます。
インタフェース SEMIE73-0299
動作温度 5~40
湿気の操作 RH 90%未満


PS の物理的寸法

Corrosion Resistant Dry Screw Vacuum Pump


PDシリーズ ドライスクリュー真空ポンプ

特徴

ドライスクリュー真空ポンプは、水冷モーター (防爆) または空冷モーター (防爆) を使用でき、高圧での高い排気速度、低​​消費電力、低騒音です。


応用

TFT-LCD、タッチパネル

太陽

冶金システム

コーティング

プラズマプロセス

乾燥工程

バイオテクノロジー/医薬品

化学工業


PD パフォーマンスパラメータ

モデル ユニット PD120 PD200 PD300 PD500 PD650 PD800
排気速度(50HZ/60HZ) L/分 1667/2000 2830/3400 4167/5000 7000/8333 9030/10840 11011/13233
m3/時 100/120 167/200 250/300 420/500 540/650 680/800
CFM 59/71 98/117 147/176 248/295 371/382 393/471
UIタイミングプレッシャー トル ≤7.5*10-3
ミリバール ≤1*10-2
≤1
モーター 頻度 ヘルツ 50/60
電圧 V 220~380~440
馬力 4/5.3 6/7.5 8/10 15/20 25/30 25/30
KW 2.98/4 4.47/5.5 6.7/7.5 11/15 18.5/22 18.5/22
KW 1.6/2 2.2/3 3.6/4.2 6/7 10/13 11/14
繋がり 入口 NW50 NW50 ISO63 ISO80 ISO100 ISO100
アウトラー NW40 NW40 NW40 NW50 ISO63 ISO63
冷却
繋がり RC3/8” RC1/2”
プレッシャー kg/cm2 2.0~4.0
温度 3slm18℃~7slm28℃ 6slm18℃~15slm28℃
流れ L/分
N2 プレッシャー kg/cm2 0.15~0.2
希釈流量 L/分 プロセス別
シールの流れ L/分 10
繋がり スウェージロック 1/4”
寸法長さ*幅*高さ mm 814*380*663 920*430*674 1075*430*650 1346*538.4*886 1831*610*735 1831*610*735
重さ kg 280 345 390 550 1050 1050
ノイズ dB(A) 68 <70 <70 <75 <80 <80
動作温度 5~40℃
湿気の操作 RH 90%未満


PD パフォーマンス曲線

Corrosion Resistant Dry Screw Vacuum Pump


PDの物理的寸法

Corrosion Resistant Dry Screw Vacuum PumpCorrosion Resistant Dry Screw Vacuum Pump



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