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可変周波数ドライスクリュー真空ポンプ

Yuzhen 高品質可変周波数ドライスクリュー真空ポンプは、現場の作業条件に応じて速度を自動的に調整し、必要な電力のみを使用するため、エネルギーの節約と柔軟性が向上します。頻繁にプロセスが変更され、エネルギー消費と安定性に対する要求が厳しい生産ラインに特に適しています。

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製品説明

多くの工場では、真空要件は一定ではありません。

一部のプロセスでは高真空が必要ですが、他のプロセスでは特定の状態を維持するだけで済みます。装置がフルスピードで連続稼働すると、電気代が高額になり、装置の磨耗が早まります。

可変周波数ドライスクリュー真空ポンプの利点は次のとおりです。

常にフル稼働で動作するわけではありませんが、実際のニーズに応じて速度が自動的に調整されます。真空ポンプはオンデマンドで動作するため、電力を節約し、不要な作業を回避します。

システム負荷が低い場合、真空ポンプは自動的に速度を落とし、不必要なエネルギー消費を削減します。

プロセスでより大きなポンプ能力が必要な場合でも、迅速に対応し、生産リズムが中断されないようにすることができます。

この可変周波数制御方式により、電気代が大幅に削減されるだけでなく、システム全体がよりスムーズかつ静かに動作します。長期的には、機器自体も保護します。

簡単な管理

可変周波数ドライスクリュー真空ポンプは、直感的な制御インターフェイスを備えており、動作状況やパラメータが一目で簡単に理解できます。オペレーターは専門的で複雑なトレーニングを必要としません。とても使いやすく、日々の調整やモニタリングも便利です。

典型的なアプリケーションシナリオ

半導体およびエレクトロニクス製造: エッチング、CVD、PECVD、およびその他のプロセス

太陽光発電・LED生産ライン：薄膜成膜・洗浄・真空排気

化学プロセス：ガス処理、真空反応、溶媒回収

コーティング、メッキ、高清浄度の産業用途

PSシリーズドライスクリュー真空ポンプ

主な特長

1. ガス経路を短くし、プロセスガスの汚染を軽減

他のタイプのドライ真空ポンプと比較して、HANBELL スクリュー真空ポンプは真空ポンプ内のガス経路が最も短く、プロセスガスの汚染を軽減できます。スクリューローターは粉体輸送機構として機能し、ポンプ内に汚れが多くても問題なく動作します。

2. 優れたロータープロファイルシール効果による優れたポンプ性能

特許取得済みのロータープロファイルにより、ローターに優れたシール効果を提供できるため、ローター間により大きなクリアランスが許容されます。許容クリアランスを大きくすることで、プロセス汚染によるポンプローターの磨耗やローター詰まりを軽減できます。

3. シンプルな構造なのでポンプの不意の停止が少なく、オーバーホールも容易です。

スクリュー式真空は一対のスクリューローターで構成され、ポンプチャンバーのさまざまな段階に隔離プレートが必要です。ローターと隔離プレートの間のプロセス汚染も回避できます。ハンベルドライポンプのオーバーホールは他のタイプのドライポンプに比べてはるかに簡単なので、修理時間も短く、コストも節約できます。

4.マイクロプロセッサコントローラーとリモートコントロールソフトウェアはポンプを異常な状況から保護します。

マイクロプロセッサコントローラは、動作状態を監視するための多くのポンプパラメータを提供します。操作パネルによりポンプの操作・監視が簡単に行えます。リモート制御ソフトウェアは、顧客がポンプの稼働状態をリモートで監視するのに役立ちます。

利点

1. 冷却には特殊クーラントを使用しており、冷却水によるシェルの腐食を防ぎます。

2.モバイル操作インターフェイスは操作に便利です。真空ポンプの実際の作動状態を表示し、中国語と英語の表示も可能で、お客様のニーズに応えます。

3. 軍用グレードの電源コネクタ、安全で便利。

4. 窒素ヒーターにより、真空ポンプが CVD や PECVD などの半導体プロセスにより適したものになります。

5. 真空ポンプの遠隔監視を可能にする制御信号および通信信号インターフェース。

Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump

PSシリーズドライスクリュー真空ポンプ

モデル		ユニット	PS80	PS160	PS180
排気速度(50HZ/60HZ)		L/分	1300/1600	2150/2600	2500/3000
		m3/時	80/96	140/156	150/180
		CFM	48/57	82/92	88/105
UIタイミングプレッシャー		トル	≤7.5*10^⁻3
		ミリバール	≤1*10^-2
		パ	≤1
モーター	頻度	ヘルツ	50/60
	電圧	V	220~440
	力	馬力	4	6	6
		KW	2.98	4.47	4.47
繋がり	入口		NW50
	アウトラー		NW40
冷却水	流れ	L/分	3~7
	プレッシャー	kg/cm2	2~4
	温度	℃	18～30
	繋がり		RC3/8”
N2	プレッシャー	メガパスカル	0.15～0.2
	希釈流量	L/分	0~60
	シールの流れ	L/分	0~20
	繋がり		スウェージロック 1/4”
寸法長さ幅高さ		mm	814380663	895405678	920425650
重さ		kg	280	300	320
ノイズ		dB(A)	≤68	≤70	≤70
			注1. 上記騒音値は水冷モータ搭載、ケーシングなしの場合の値です。 2. 上記モデルに遮音装置を取り付けると、騒音をさらに 3 ～ 4 デシベル低減できます。
インタフェース			SEMIE73-0299
ポンプのリーク率		Mbar.1/秒	1*10^-5
動作温度		℃	5～40
湿気の操作		RH	90%未満

モデル		ユニット	PS602	PS902	PS1302	PS1802
排気速度(50HZ/60HZ)		L/分	8300/10000	12500/15000	17500/21000	25000/33300
		m3/時	500/600	750/900	1050/1260	1500/1800
		CFM	294/353	441/530	618/742	883/1060
UIタイミングプレッシャー		トル	≤7.5*10⁻⁴
		ミリバール	≤1*10⁻³
		パ	≤0.1
モーター	頻度	ヘルツ	50/60
	電圧	V	220~440
	力	馬力	4+4	6+4	6+6	6+6
		KW	2.98+2.98	4.47+2.98	4.47+4.47	4.47+4.47
繋がり	入口		IS0100(ボルト止め)		IS0160(ボルト止め)
	アウトラー		NW40
冷却水	流れ	L/分	3~7
	プレッシャー	kg/cm2	2~4
	温度	℃	15～30
	繋がり		RC3/8”
N2	プレッシャー	メガパスカル	0.15～0.2
	希釈流量	L/分	0~60
	シールの流れ	L/分	0~20
	繋がり		スウェージロック 1/4”
寸法長さ幅高さ		mm	814380865	895380915	920430957	9204301030
重さ		kg	450	520	540	545
ノイズ		dB(A)	≤70	≤70	≤70	≤70
			注1. 上記騒音値は水冷モータ搭載、ケーシングなしの場合の値です。 2. 上記モデルに遮音装置を取り付けると、騒音をさらに 3 ～ 4 デシベル低減できます。
インタフェース			SEMIE73-0299
動作温度		℃	5～40
湿気の操作		RH	90%未満

PS の物理的寸法

Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump

PDシリーズドライスクリュー真空ポンプ

特徴

ドライスクリュー真空ポンプは、水冷モーター (防爆) または空冷モーター (防爆) を使用でき、高圧での高い排気速度、低消費電力、低騒音です。

応用

TFT-LCD、タッチパネル

太陽

冶金システム

コーティング

プラズマプロセス

乾燥工程

バイオテクノロジー/医薬品

化学工業

PD パフォーマンスパラメータ

モデル		ユニット	PD120	PD200	PD300	PD500	PD650	PD800
排気速度(50HZ/60HZ)		L/分	1667/2000	2830/3400	4167/5000	7000/8333	9030/10840	11011/13233
		m3/時	100/120	167/200	250/300	420/500	540/650	680/800
		CFM	59/71	98/117	147/176	248/295	371/382	393/471
UIタイミングプレッシャー		トル	≤7.5*10^-3
		ミリバール	≤1*10^-2
		パ	≤1
モーター	頻度	ヘルツ	50/60
	電圧	V	220～380～440
	力	馬力	4/5.3	6/7.5	8/10	15/20	25/30	25/30
	力	KW	2.98/4	4.47/5.5	6.7/7.5	11/15	18.5/22	18.5/22
	力	KW	1.6/2	2.2/3	3.6/4.2	6/7	10/13	11/14
繋がり	入口		NW50	NW50	ISO63	ISO80	ISO100	ISO100
繋がり	アウトラー		NW40	NW40	NW40	NW50	ISO63	ISO63
冷却水	繋がり		RC3/8”				RC1/2”
	プレッシャー	kg/cm2	2.0～4.0
	温度	℃	3slm18℃～7slm28℃			6slm18℃～15slm28℃
	流れ	L/分	3slm18℃～7slm28℃			6slm18℃～15slm28℃
N2	プレッシャー	kg/cm2	0.15～0.2
	希釈流量	L/分	プロセス別
	シールの流れ	L/分	10
	繋がり		スウェージロック 1/4”
寸法長さ幅高さ		mm	814380663	920430674	1075430650	1346538.4886	1831610735	1831610735
重さ		kg	280	345	390	550	1050	1050
ノイズ		dB(A)	68	<70	<70	<75	<80	<80
動作温度		℃	5～40℃
湿気の操作		RH	90%未満

PD パフォーマンス曲線

Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump

PD寸法

Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump

PDシリーズ

製品	ユニット	PD300	PD500	PD1902	PD2152	PD3052	PD3652
ドライポンプ	m3/時	330	500	330	500	500	500
ブースターポンプ	m3/時			1800	1800	3000	3600
最高排気速度	m3/時	330	500	1900	2100	3000	3600
最高排気速度	l/分	5500	8300	32000	35000	50000	60000
到達圧力	トル	7.5X10^-3	7.5X10^-3	7.5X10^-4	7.5X10^-4	7.5X10^-4	7.5X10^-4
消費電力	kW	4.5	7.7	5.3	8.5	8.8	9.0
入口	それで	63	80	160	160	200	200
出口	北西	40	50	40	50	50	50
寸法(mm)	L	1055	1505	1055	1505	1505	1505
	W	430	525	430	525	525	525
	H	560	515	1055	790	965	965
重さ	Kg	350	500	560	730	1000	1020

PRシリーズルーツポンプ

特徴

1. PR ポンプは、高品質のオイルフリーポンプ機構を備えています。

2. 優れたレーター形状のシール効果により、優れたポンプ性能を発揮します。

3. 比較的低圧で動作するため信頼性が高い

4. 静かで振動のない動作

応用分野

真空コーティング、真空オーブン、熱プロセス、製薬、化学、半導体、TFT/LCD/LED、太陽電池など。

PR パフォーマンスパラメータ

モデル		ユニット	PR600	PR900	PR1300	PR1800	PR3000	PR7000
排気速度(50HZ/60HZ)		L/分	13000	20000	26000	33000	63000	140000
		m3/時	800	1200	1600	2000	3800	8400
		CFM	470	706	941	1176	2235	4947
UIタイミングプレッシャー		トル	≤7.5*10⁴
		ミリバール	≤1*10⁻³
		パ	≤0.1
モーター	頻度	ヘルツ	50/60
	電圧	V	220~440
	力	馬力	4	4	6	6	8/20	20
	力	KW	2.98	2.98	4.47	4.47	6.7/15	15
アイドル時の消費電力		KW						1.7
繋がり	入口		IS0100		ISO160		ISO200	320ISO-K
繋がり	アウトラー		IS0063		ISO100		IS0160	160ISO-K
寸法長さ幅高さ		mm	721322233	778360250	848360272	778360272	1142510358	1490669490
重さ		kg	160	210	220	225	570	880
ノイズ		dB(A)	≤60	≤60	≤62	≤62	≤65	≤70
ノイズ		dB(A)	注1. 上記騒音値は水冷モータ搭載、ケーシングなしの場合の値です。 2. 上記モデルに遮音装置を取り付けると、騒音をさらに 3 ～ 4 デシベル低減できます。
ポンプのリーク率		Mbar.1/秒	1*10⁵
動作温度 ℃		℃	5～40
動作湿度 RH		RH	90%未満

PMF半導体省エネシリーズ

モデル		ユニット	PMF100	PMF120	PMF612
排気速度		L/分	1666	1933	10000
		m3/時	100	116	600
		CFM	59	69	353
到達圧力		トル	≤7.5×10^-3	≤7.5×10^-3	≤7.5×10^-4
到達圧力		ミリバール	≤1×10^-2	≤1×10^-2	≤1×10^-3
モーター	電圧	V	220V/380V	220V/380V	220V/380V
モーター	定格電力	kW	2.2	2.2	2.2+2.2
繋がり	入口		NW50	NW50	ISO80
繋がり	出口		NW25	NW25	NW40
冷却水薄暗い。	プレッシャー	kg/cm2	2.0～4.0(△P>1kg/cm2)	2.0～4.0(△P>1kg/cm2)	2.0～4.0(△P>1kg/cm2)
	Min.Flow	L/分	1	1	1
	温度	℃	20℃ 2L/min～30℃ 5L/分	20℃ 2Lmin～30℃ 5L/分	20℃ 2L/min～30℃ 5L/分
	コメクション		RC1/4"	RC1/4"	RC1/4"
	長さ×幅×高さ	mm	450×230×275	450×230×275	530×230×520
重さ		kg	60	60	120
ノシツェ		dB	60	60	60
UItimate圧力パワー		kW	0.39	0.44	0.5

IPHシリーズ

製品	ユニット	iPH100	iPH200	iPH610	iPH1210	iPH1210H	iPH1220	iPH1810	iPH1820
ドライポンプ	m3/h	120	200	120	120	120	200	120	200
ブースター	m3/h	1	I	600	1200	1200	1200	1800	1800
最高排気速度	m3/h	120	200	700	1100	1100	1250	1800	1850
到達圧力	トル	7.5×10^-3	7.5×10^-3	7.5×10^-4	7.5×10^-4	7.5×10^-4	7.5×10^-4	7.5×10^-4	7.5×10^-4
UIt のシステム電源。	kW	2.1	3.5	2.6	3.0	3.2	4.5	3.9	4.7
入口	ISO	63	63	100	100	100	100	160	160
出口	北西	40	40	40	40	40	40	40	40
寸法(mm)	L	830	830	830	830	830	830	830	830
	W	400	400	400	400	400	400	400	400
	H	526	526	780	780	780	780	830	830
重さ	Kg	280	300	450	455	460	470	515	530